一、基本信息
二、资格条件
三、商务要求
四、技术要求
五、附件
| 竞价编号：JJ******000945 | |
| 项目名称：华电院采购等离子增强管式炉 | |
| 项目预算(元)：136,000.00 | 报价方式： 总价报价 |
| ******大学 | 联系人：采购用户 |
| 最少报价家数：3 | 联系电话：020-****** |
| 联系手机：无 | 电子邮箱：****** |
| 异议反馈：020-******；****** | |
| 开始时间：2023-07-04 12:05:36 | 截止时间：2023-07-07 12:05:00 |
| 资格条件：原厂或原厂授权。 |
| 付款方式：到货验收合格付全款。 | |
| 交付时间： 签订合同后30天送货。 | |
| 交************大学城校区理5栋。 | |
| 质保期及售后要求：按出厂厂家售后标准进行服务。 | |
| 其他要求：无 |
| 序号 | 标的名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 是否限定品牌 | 技术要求 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 等离子增强管式炉 | 1.00 | 台 | 上海微行/PECVD1200-60 | 是 | 1、主机技术指标： [1] 石英管尺寸 L≥1500 mm Φ≤60 mm [2] 加热元件 掺钼铁铬铝合金电阻丝 [3] 测温元件 N型热电偶 [4] 加热区长度 440≤ mm [5] 恒温区长度 200 ≥mm [6] 工作温度 ≤1100 ℃ [7] 控温模式 模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 [8] 控温精度 ≤±1 ℃ [9] 升温速率 ≤20 ℃/min [10] 电功率 ≤3.5 KW 2、附件技术指标： [1] 标准量程 ≥50 sccm（CH4）、≥200 sccm（H2）、≥500 sccm（Ar、N2）； [2] 压力表测量范围 -0.1 Mpa～0.15 Mpa [3] 响应时间特性：≤1～4 Sec [4] 抽气速率 ≥4 L\s [5] 极限真空 ≤6×10-1 Pa [6] 实验真空度 ≤6.0×10-1 Pa [7] 容油量 ≤1.1 L [8] 射频电源≥3 W-300 W [9] 射频输出接口 ≥50 Ω, N-type, female |
| 序号 | 附件名称 | 上传时间 | 大小 | 操作 |
|---|
